본문 바로가기

연구 보고서

반도체 업종 HFCs 소비량 산정방안 연구용역

 

1. 연구배경

 

ㅇ 제2종 특정물질(HFCs) 규제 시행에(‘23.4.19) 따라 반도체 업종의 특성을 반영한 감축 방안 마련 및 관련 고시 개정 필요성 대두

 

 - 해외 주요국(미국, , 유럽 등)에서 반도체 제조용 원료*로 사용되는 HFCs는 사전 확인을 통해 제조 허가·수입 승인(할당) 대상

  * 반도체 제조용 원료로 파괴되는 잔여가스, 반응, 제해(스크러버)에 투입되는 HFCs 해당

 

ㅇ 반도체 공정에서 수소불화탄소는(HFCs) 식각용으로 주로 사용

 

 - 반도체 제조용 원료로 파괴되는 잔여 가스, 반응, 제해(스크러버) 투입 HFCs(HFC-23, HFC-32, HFC-236ea, HFC-125, HFC-I41)

 

2. 연구범위

 

국외 주요국의 반도체 제조용 HFCs 특정물질 제조수입량, 소비량 산정 및 UNEP 보고 사례 조사

 

 - 반도체 제조용으로 사용되는 HFCs 특정물질의 소비량 산정 기준 및 국가별 UNEP 보고 양식, 필수제출 근거서류 등 관련 문서* 분석

  * 키갈리개정서 관련 UNEP의 공식문서(의정서, 가이드북 등)

 

 - 유럽연합, 일본, 중국의 반도체 제조용 특정물질 제조수입량 관리 기준, 관련 법령 및 지침 분석

 

 - 반도체 제조 공정용 HFC 사용량과 저감장치(스크러버)를 거쳐 대기 중으로 배출되는 배출량 산정근거, 활동자료 수집근거(법률 또는 정책) 조사

 

 

ㅇ 연구기간 : 2023년09월26일 ~ 2023년12월31일

 

ㅇ 참여인력

  - 연구책임자 : 이진수

  - 공동연구원 : 정현수, 이진규, 정진성

  - 연구보조원 : 이원준

 

ㅇ 분량 : 109p

 

< 목 차 >

 

1장 서론 1

1절 연구의 배경 1

2절 연구의 범위 1

 

2장 키갈리개정서 주요내용 검토 2

1절 몬트리올 프로토콜의 취지와 주요 내용 2

 I. 정의 및 개설 2

 II. 연원 및 변천 3

2절 키갈리개정서의 내용 6

 I. 키갈리개정서의 배경과 주요 내용 6

 II. 키갈리개정서의 적용범위 9

 

3장 몬트리올 의정서 및 키갈리개정서 국내 이행 법률의 검토 16

1절 몬트리올 의정서 및 관계 국내 법률 16

2절 키갈리개정서 관련 국내 법제도 개정 내용 18

 I. 개정 비준동의안과 오존층보호법의 검토 18

 II. 키갈리개정서 이행을 위한 제도적 보완 방안 마련 44

 

4장 해외 주요국의 키갈리 개정서 이행 법률 검토 51

1절 개관 51

2절 주요 국가의 이행법령 현황 52

 I. EU 52

 II. 일본 54

 III. 영국 60

 IV. 미국 62

 

5장 키갈리개정서 이행법령 개정 방안 64

1절 검토사항 및 법적쟁점 64

2절 반도체 감축한도 예외의 필요성 67

3절 오존층보호법 하위 법령 개정 방안 70

 I. 법령개정 또는 신규고시 제정 필요성 70

 II. 검토 71

4절 행정규칙 및 관련 가이드라인 마련 방안 73

 I. 부담금 고시 징수 고시 제·개정 방향 73

 II. 고시 개정안 73

 III. 기준한도 고시 신설안 74

 IV. 법령 적용 대상 사전 검토 절차(훈령 및 가이드라인) 78